超级黄金膜（黄光室专用）

       超级黄金膜为黄光室进行IC晶片微影成像术的区域，将光阻材料利用旋镀法被覆在晶圆上，而后再放置于曝光机下进行曝光，以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光

图像，最后再以药剂进行显影而得到实际图像。早期曝光机的光源为全光谱光源，后演进到G-LINE（436nm）光源，目前最为广泛使用的为I-LINE（365nm）光源，对于0.3ūm

线宽以下的IC制程，则需采用深紫外线（deep UV）248nm光源，甚至X光或电子束，目前光源较采用高压水银（汞）弧灯，由于其特性频谱，所以须经过滤光片以获得所需的I－

LINE(365mm)光线。为了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光，所以整个作业必须在黄光室下进行，换言之，所有照明用的光源须加以过滤，照明灯底

罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380nm紫外光的能力。但必须注意的一点，有些黄色透明板虽然具有黄光，但对于紫外光却未完全隔绝，严格来说，这是不合格的产品。

因为常被用于黄光室的5mm 黄色压克力板，在I－LINE（365nm）附近确有不少的穿透率。期间提供最佳紫外线（UV ）阻断效果，特别适宜于集成电路制造厂商黄光区的照明。

独特的防护袖套确保灯管的光色不变。这种黄金膜比普通黄光膜的紫外线阻断能力更强，而且隔断关键的G，H和I光谱线，保证在灯管全寿命期间阻隔UV 紫外线。CovRguard 

Gold.可以完全过滤下列紫外波段：UV-C（200-280nm）UV-B（280-315nm）同时可以几乎过滤UV-A（315nm-400nm ）以及一部分可见光，极限光谱为500nm 。